四探针测试原理方法和计算

发布时间: 2020-03-10 11:27:10 点击: 372

四探针测试原理方法和计算

 

 

 

一、工作原理和计算公式

1.双电测四探针法测试薄层样品方阻计算和测试原理如下

直线四探针测试布局如图8,相邻针距分别为S1S2S3,根据物理基础和电学原理:

当电流通过14探针,23探针测试电压时计算如下:

四探针测试结构图8

当电流通过12探针,43探针测试电压时计算如下:

 

从以上计算公式可以看出:方阻RS只取决于R1R2,与探针间距无关.针距相等与否对RS的结果无任何影响,本公司所生产之探针头全部采用等距,偏差微小,对测试结果更加精准。

 

 

 

2.仪器工作原理图


输入

 

电源




芯片

 

模块


液晶

 

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