四探针电阻测试仪的技术指标

发布时间: 2021-04-26 20:23:23 点击: 284

四探针电阻测试仪的技术指标


四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备,用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)。
 
四探针测试仪由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成,测量数据既可由主机直接显示,亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析,然后以表格,图形方式统计分析显示测试结果。
 
四探针电阻测试仪的技术指标:
 
1.方块电阻范围:10-4~2×103Ω/□
 
2.电阻率范围:10-5~2×104Ω-cm
 
3.测试电流范围:10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA
 
4.电流精度:±0.2%读数
 
5.电阻精度:≤0.3%
 
6.显示读数:液晶显示:电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率
 

7.测试方式: 普通单电测量

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