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GB/T 1551-2021硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法

发布时间: 2023-08-23 11:20:18 点击: 447

GB/T 1551-2021硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法
GB/T 1551-2021《硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法》是一个标准,它规定了使用直排四探针法和直流两探针法测定硅单晶电阻率的测试方法。

直排四探针法适用于测试电阻率为0.01Ω·cm到1000Ω·cm的硅单晶,而直流两探针法适用于测试电阻率为10-4Ω·cm到100Ω·cm的硅单晶。

以下是该标准的主要内容:

范围:该标准规定了使用直排四探针法和直流两探针法测定硅单晶电阻率的测试方法。
术语和定义:该标准给出了电阻率、硅单晶、直排四探针法、直流两探针法等术语和定义。
测试原理:该标准分别介绍了直排四探针法和直流两探针法的测试原理。
测试环境:该标准规定了测试环境的温度和湿度要求。
干扰因素:该标准分别说明了直排四探针法和直流两探针法测试时可能受到的干扰因素及其影响。
试剂和材料:该标准规定了测试所需的试剂和材料,包括探针、导线、电阻率测量仪等。
测试步骤:该标准详细描述了直排四探针法和直流两探针法的测试步骤,包括样品的准备、测试环境的控制、探针的连接、电阻率的测量和数据处理等。
测试结果处理:该标准规定了测试结果的处理方法,包括数据的记录、计算和误差分析等。
需要注意的是,使用该标准进行测试时,应按照标准规定的操作步骤进行,并使用合适的设备和试剂,以确保测试结果的准确性和可靠性。此外,对于不同类型和规格的硅单晶,应根据实际情况选择合适的测试方法。