FT-3110系列全自动四探针测试仪

发布时间: 2020-09-22 14:40:29 点击: 204
FT-3110系列全自动四探针测试仪

FT-3110系列全自动四探针测试仪

.功能描述

四点探针法,全自动化运行测量系统,PC软件采集和数据处理;参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻;可设定探针压力值、测试点数、多种测量模式选择;真空环境,可显示:方阻、电阻率、显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值、提供标准校准电阻件.   报表输出数据统计分析.

.适用范围

晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量;选择性发射极扩散片;表面钝化片;交叉指样PN结扩散片;新型电极设计,如电镀铜电阻测量等;半导体材料分析,铁电材料,纳米材料,太阳能电池,LCD,OLED,触摸屏等.

 

三.技术参数:

规格型号

FT-3110A

FT-3110B

1.电阻

10^-5~2×10^5Ω

10^-6~2×10^5Ω

2.方块电阻 

10^-5~2×10^5Ω/□

10^-6~2×10^5Ω/□

3.电阻率 

10^-6~2×10^6Ω-cm

10-7~2×106Ω-cm

4.测试电流 

0.1μA.μA.0μA,100µA,1mA,

 

10mA,100mA

1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

5.电流精度 

±0.1%

6.电阻精度 

≤0.3%

7.PC软件操作

PC软件界面:电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、压力、

报表生成等

8.压力范围:

探针压力可调范围:软件控制,100-500g可调

9.探针

针间绝缘电阻:≥1000MΩ;机械游移率:≤0.3%

圆头铜镀金材质,探针间距1mm;2mm;3mm选配,其他规格可定制

10.可测晶片

尺寸选购

 

晶圆尺寸:2-12寸(6寸150mm,12寸300mm);

方形片:大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm

11.分析模式

单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试

12.加压方式

测量重复性:重复性≤3% 

13.安全防护

具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报

14.测试环境

真空

15.电源

输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<100W 

16.选购项目

电脑和打印机