FT-330/340/361/371/394C 四探针测试仪产品详情
发布时间： 2026-06-28 10:46:48 点击： 2
1. 产品介绍
ROOKO 瑞柯微 FT 系列四探针测试仪包含 FT-330、FT-340、FT-361、FT-371 台式机型与 FT-394C 手持式机型，由宁波瑞柯析理仪器有限公司推出，依托四探针法、范德堡测量原理开发，为导体、半导体、导电薄膜材料电学性能表征设备。整机匹配 ASTM F84、GB/T1551、GB/T1552 等通用标准，区分低阻、高阻、手持便携、单电测 / 双电测多规格机型，覆盖实验室研发、产线来料质检、现场快速抽检多工况，可采集方块电阻、体积电阻率、电导率多维度数据，支持 PC 软件图谱报表导出，适配固态、颗粒导电材料电学检测。
2. 产品特点
- 双测量原理架构：集成四探针直线测量、范德堡方形探针测量，适配薄片、块状、圆形样品检测
- 双向恒流检测：自动切换正、负电流输出与电压采集，抵消材料极化电势干扰，数据稳定
- 中英文液晶交互界面，多参数同步显示，支持温度补偿、自动量程切换、厚度系数补偿
- 机型量程差异化配置：FT-361 适配低阻导电材料，FT-371 适配高阻半导体薄膜，FT-394C 手持便携外出检测
- 双电测优化机型（FT-341/342）采用双电组合测试，适度优化测量误差，标准样片误差≤4%
- 探针组件可定制：探针间距 1/2/3mm 可选，材质分为碳化钨针、镀金磷铜半球针，适配不同硬度样品
- 拓展配套完善：可搭配测试平台、标准校准电阻、温度传感器、PC 分析软件，拓展数据归档功能
- 台式机型功耗＜30W，220V 市电供电；手持机型内置充电电池，无外接电源也可完成现场检测
- 电阻测量误差可控，台式机型标准电阻精度≤0.3%，满足行业材料检测规范
- 适配多形态导电材料，兼顾实验室检测与产线批量筛查，多场景适配
3. 工作原理
设备采用直流四探针法与范德堡四电极法两类测量架构，规避两点测试引线电阻、接触电阻带来的数据偏差：
- 直线四探针测试：外侧两根探针输出恒定微小电流，内侧两根探针采集样品表面电压，结合探针间距、样品厚度自动运算方块电阻、体积电阻率、电导率；
- 范德堡方形探针测试：四根电极均匀分布样品四周，适用于方形、圆形薄片样品，降低样品形状对测量结果的干扰；
- 仪器自动切换正反向恒流采集数据，抵消材料极化影响，内置温度补偿模块，可接入温度传感器修正温漂误差；台式机型可连接 PC 软件同步存储压力、厚度、电阻、温度数据，生成数据曲线与标准化报表。
4. 技术参数
| 测试项目 | FT-331 | FT-341 | FT-332 | FT-342 | FT-361B 低阻 | FT-371A 高阻 | FT-394C 手持式 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 方块电阻范围 | 10⁻⁵～2×10⁵Ω/□ | 10⁻⁵～2×10⁵Ω/□ | 10⁻⁴～2×10⁵Ω/□ | 10⁻⁴～2×10⁵Ω/□ | 10⁻⁶～2×10⁵Ω/□ | 10⁻⁴～10⁷Ω/□ | 10⁻³～2×10⁴Ω/□ |
| 电阻率范围 | 10⁻⁵～2×10⁵Ω·cm | 10⁻⁵～2×10⁵Ω·cm | 10⁻⁴～2×10⁵Ω·cm | 10⁻⁴～2×10⁵Ω·cm | 10⁻⁶～2×10⁵Ω·cm | 10⁻⁴～10⁷Ω·cm | 10⁻³～2×10⁴Ω·cm |
| 测试电流档位 | 0.1μA~100mA | 0.1μA~100mA | 10μA~100mA | 10μA~100mA | 0.1μA~1A | 200pA~10mA | 10μA~10mA |
| 电阻精度 | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.3% | - |
| 测试方式 | 单电测 | 双电组合 | 单电测 | 双电组合 | 四探针 | 四探针范德堡 | 四探针 |
| 整机误差 | ≤4% 标准样片 | ≤4% 标准样片 | ≤4% 标准样片 | ≤4% 标准样片 | - | - | - |
| 显示内容 | 电阻、电阻率、方阻、温度、厚度、电导率等完整参数 | 电阻、电阻率、方阻、温度、厚度、电导率等完整参数 | 电阻、电阻率、方阻、温度、厚度、电导率等完整参数 | 电阻、电阻率、方阻、温度、厚度、电导率等完整参数 | 完整多参数显示 | 完整多参数显示 | 仅方阻、电流 |
| 供电规格 | AC220V±10%，＜30W | AC220V±10%，＜30W | AC220V±10%，＜30W | AC220V±10%，＜30W | AC220V±10%，＜30W | AC220V±10%，＜30W | 5V 充电电池 |
| 可选探针间距 | 1/2/3mm | 1/2/3mm | 1/2/3mm | 1/2/3mm | 1/2/3mm | 1/2/3mm | 1/2/3mm |
| 可选探针材质 | 碳化钨针、镀金磷铜针 | 碳化钨针、镀金磷铜针 | 碳化钨针、镀金磷铜针 | 碳化钨针、镀金磷铜针 | 碳化钨针、镀金磷铜针 | 碳化钨针、镀金磷铜针 | 碳化钨针、镀金磷铜针 |
5. 适用范围
- 行业适配：半导体晶圆制造、光伏电池、光学 ITO 导电膜、新能源石墨 / 炭纸、导电橡胶、PCB 铜箔、导电涂料、高校材料实验室、合作机构检测实验室；
- 检测材料：硅单晶 / 锗单晶片、ITO/AZO 导电玻璃、金属镀层、石墨烯薄膜、导电塑料、导电纤维、石墨板材、导电涂层、抗静电材料；
- 检测指标：方块电阻、材料体积电阻率、电导率、薄层导电均匀度、温度系数；
- 适配标准：ASTM F84、GB/T1551、GB/T1552、GB/T26074、GB/T14141、GB/T37152 半导体电学检测通用标准。
6. 操作流程（简洁）
- 台式机接通 220V 电源，手持机型完成充电；安装匹配间距、材质的四探针探头；
- 将待测样品平稳放置于测试平台，录入样品厚度、温度补偿参数；
- 仪器选择对应电流档位，启动自动正反电流测量；
- 液晶面板读取方阻、电阻率数据，台式机型可连接 PC 软件自动存储、生成测试报表；
- 单次测试完成后抬起探针，更换样品重复检测；检测结束断电，清洁探针接触面。
7. 配套服务项目（简洁版）
- 售后服务：原厂基础质保，线上远程调试，故障安排到场检修；
- 延保服务：可选购 1-3 年期延保，延长整机保修周期；
- 样品测试：合作机构实验室承接来料检测，同步出具计量证书；
- 技术升级：仪器软件迭代、量程拓展、功能模块升级服务；
- 仪器租赁：适配短期项目、临时抽检需求的租赁方案；
- 仪器定制：探针规格、测试模块、电极尺寸定制化设计。
8. 包装配件（标准外选购件）
| 序号 | 配件型号 | 配件名称 | 单位 | 配置说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 340-CSX | 测试线 | 套 | 1 套 / 台 |
| 2 | 09A | 标准校准电阻 | 个 | 选购，数量 1-5，规格按需匹配 |
| 3 | 06A | 四探针测试平台 | 套 | 1 套，内含直线型探头 1 支 |
| 4 | 06B | 四探针探头 | 个 | 直线 / 方形探头按需增补 |
| 5 | 340-TTZ | 镀金弹簧铜针组件 | 组 | 4 根 / 组，损耗替换配件 |
| 6 | 340-WTZ | 弹簧钨针组件 | 组 | 4 根 / 组，耐磨探针选配 |
| 7 | 340-RJ | PC 分析软件 | 套 | 1 套，支持数据导出、图谱生成 |
| 8 | PC | 电脑 + 打印设备 | 套 | 按需搭配，用于数据归档打印 |
| 9 | 300-JL | 计量检测证书 | 份 | 1 份，合作机构校准认证文件 |
| 10 | WDCGQ | 温度传感器 | 套 | 测温区间常温 - 125℃，按需选购 |
| 11 | 341-YB | 设备延保服务 | 年 | 选购周期 1-3 年 |
9. 售后服务（简洁）
- 原厂质保周期内，非人为损坏零部件更换；
- 提供长期线上远程操作指导、故障排查；
- 损耗类探针、电极配件可单独采购补给；
- 配套 PC 软件持续迭代更新，无额外功能费用；
- 可预约定期设备校准、计量复检服务。
10. FAQ 常见问答
Q1：低阻、高阻机型如何选型？
A：金属、石墨、导电炭纸、厚金属镀层等低导电材料合适之选为 FT-361B；半导体薄膜、高阻导电涂层选用 FT-371A；常规硅片、ITO 薄膜可选用 FT-330/340 系列；现场户外抽检选用 FT-394C 手持机型。
Q2：单电测与双电测机型有什么区别？
A：FT-331/332 为单电测，基础检测工况适配；FT-341/342 双电组合测试，适度优化测量误差，对数据一致性要求较高的产线质检可选用。
Q3：探针能否更换不同间距、材质？
A：支持，1mm/2mm/3mm 三种间距可选；碳化钨针硬度高适配硬质样品，镀金磷铜针接触稳定适配薄膜类软质样品。
Q4：仪器是否支持温度补偿？
A：台式机型均可搭配温度传感器配件，采集样品实时温度，自动换算标准温度下电阻率数值，降低温漂干扰。
Q5：手持款可以连接电脑导出数据吗？
A：FT-394C 手持式基础机型仅本地显示数据，如需 PC 数据存储可搭配台式系列机型或选配拓展通讯模块。
11. 关联产品（简洁）
- FT-351 高温四探针测试仪（高温环境导电材料检测）
- FT-341SJB/FT-361SJB 双极板电阻测试仪（燃料电池炭纸、双极板界面电阻检测）
- FT-8600 粉末电阻率压实密度一体机（导电粉体、石墨粉料电学测试）
- FT-3110 全自动扫描四探针测试仪（晶圆多点面分布检测）
- FT-303 系列表面体积电阻率测试仪（绝缘材料高阻检测）
上一页：薄膜材料方阻测试仪FT-331
