瑞柯微 FT-351A/B/C 高温四探针仪 200-1200℃气氛保护电阻率分析仪
发布时间： 2026-07-12 10:58:51 点击： 45
1. 产品介绍
FT-351 系列高温四探针电阻率测试仪面向半导体、高温导电新材料研发检测打造，整合可控高温加热腔体与标准四探针测量夹具，可搭配气氛保护工况开展试验。设备区分 FT-351A/FT-351B/FT-351C 三款型号，适配不同阻值区间材料；整机自主完成正负电流、电压循环采集，规避极化带来的数据偏移，配套 PC 控制与分析程序，实时记录升温全过程方阻、电阻率、温度数值，自动生成温度 - 电阻关联图谱。加热腔体采用真空成型复合陶瓷纤维，高温工况不易掉粉，标配钨 / 钼探针，可增购铂铑高温探针，适配企业质检车间、高校材料实验室、新材料科研院所开展高温导电性能研究。
2. 产品特点
- 分型号覆盖多阻值区间，FT-351A 低阻、FT-351B 宽量程、FT-351C 高阻，按需选型适配不同半导体物料
- 多档温控区间可选，常温至 120℃梯度可控，冲温值控制在 1-3℃区间，控温误差 ±1℃
- 复合陶瓷纤维高温腔体，真空成型工艺，高温运转不易脱落粉尘，维持腔体洁净度
- 可搭配气氛保护结构，满足惰性气氛下高温导电试验工况
- 自主切换正向、反向电流电压，弱化材料极化干扰，数据稳定
- PC 一体化管控，同步记录温度、方阻、电阻率、厚度、探针间距多类参数，自动生成曲线与报表
- 直线型标准 4mm 探针，标配钨 / 钼材质，可增购铂铑高温探针适配更高温工况
- 升温节奏标准化，400-800℃区间 15 分钟，800-1200℃区间 30 分钟，温控过程可控
- 多规格高温陶瓷样品台、刚玉坩埚可搭配，适配固态、液态、颗粒试样
- 配套高温防护工具，升降装置可选，简化高温试样取放操作
3. 工作原理
将半导体、高温导电试样放置陶瓷样品台，装入高温腔体并按需通入保护气氛；四探针模组接触试样表层，设备输出设定档位恒定电流，采集两端电压信号，依托四探针法换算方块电阻、体积电阻率与电导率。加热系统按照设定速率梯度升温，PC 软件同步记录每一温度节点电性能参数，汇总后生成温度 - 电阻变化曲线；通过曲线可分析材料在升温过程导电性能波动，为配方、烧结工艺调整提供数据支撑。
4. 技术参数（表格）
表格
| 测试参数 | FT-351A | FT-351B | FT-351C |
|---|---|---|---|
| 方块电阻区间 | 10⁻⁵～2×10⁵Ω/□ | 10⁻⁶～2×10⁵Ω/□ | 10⁻⁴～10⁷Ω/□ |
| 电阻率区间 | 10⁻⁵～2×10⁵Ω·cm | 10⁻⁶～2×10⁵Ω·cm | 10⁻⁴～10⁷Ω·cm |
| 测试电流档位 | 0.1μA~100mA | 0.1μA~1A | 200pA~10mA |
| PC 显示参数 | 方阻、电阻率、电导率、温度、厚度、探针间距、电流电压、温度系数 | 方阻、电阻率、电导率、温度、厚度、探针间距、电流电压、温度系数 | 方阻、电阻率、电导率、温度、厚度、探针间距、电流电压、温度系数 |
| 可选温控范围 | 常温～200/400/600/800/1000/1200℃ | 常温～200/400/600/800/1000/1200℃ | 常温～200/400/600/800/1000/1200℃ |
| 控温指标 | 冲温≤1-3℃，控温精度 ±1℃ | 冲温≤1-3℃，控温精度 ±1℃ | 冲温≤1-3℃，控温精度 ±1℃ |
| 升温速率 | 400-800℃约 15min；800-1200℃约 30min | 400-800℃约 15min；800-1200℃约 30min | 400-800℃约 15min；800-1200℃约 30min |
| 腔体材质 | 真空成型复合陶瓷纤维 | 真空成型复合陶瓷纤维 | 真空成型复合陶瓷纤维 |
| 标配探针 | 钨 / 钼探针，直线 4mm 间距 | 钨 / 钼探针，直线 4mm 间距 | 钨 / 钼探针，直线 4mm 间距 |
| 试样尺寸要求 | 长≥13mm，宽 / 直径≥13mm | 长≥13mm，宽 / 直径≥13mm | 长≥13mm，宽 / 直径≥13mm |
| 供电功率 | 220V，功率 2-4KW | 220V，功率 2-4KW | 220V，功率 2-4KW |
5. 适用范围
- 检测物料：半导体晶片、高温导电陶瓷、石墨基复合材料、导电粉体、金属基高温导电板材、液态导电介质
- 使用机构：新能源材料企业研发实验室、高校材料化工院系、半导体科研院所、第三方高温材料检测机构
- 检测用途：高温工况导电性能研究、烧结工艺参数调整、不同配方半导体对比、气氛环境阻抗模拟、合规检测数据采集
6. 操作流程（简洁）
- 设备、电脑接通电源，检查加热腔体、探针、温控模块状态
- 将试样放置适配陶瓷样品台，闭合腔体，按需接入保护气氛管路
- PC 端设置升温区间、升温速率、测试电流、循环采集参数
- 启动升温程序，设备自动升温并交替正负电流采集电性能数据
- 全程自动存储温度、方阻、电阻率数据，生成关联变化图谱
- 试验完成降温至设定温度，取出试样，清理腔体与探针
7. 综合服务项目（简洁）
- 样品测试服务：寄送导电试样，技术团队完成多温区四探针检测并输出完整数据记录
- 延保服务：原厂基础质保周期外，可选购 1-3 年延保周期，降低后期运维损耗
- 合作机构计量服务：对接合规合作机构完成整机计量校准，配套计量证书
- 技术升级服务：温控模块、软件程序、探针组件可申请工艺改良升级
- 仪器租赁服务：短期高温材料研发项目，提供阶段性仪器租赁方案
8. 标准包装与可选配件
标配配件
- FT-351 对应机型主机 1 台
- 标准四探针测试线束 1 套
- 钨 / 钼探针组件 1 组
- 常温陶瓷样品台
- PC 分析软件安装包
- 设备操作手册、配套检测标准文档
可选增购配件
- S 型 / B 型铂铑高温探针套件
- 高低温陶瓷样品台、刚玉坩埚
- 标准校准电阻（多规格）
- 高温升降装置、高温坩埚钳、高温防护手套
- 配套电脑、打印设备
- 计量检测服务、1 至 3 年延保服务
9. 售后服务（简洁）
- 出厂配套基础质保周期，质保期内非人为损坏零部件提供更换支持
- 线上远程协助温控设置、软件操作、基础故障排查
- 设备故障可预约到场服务，技术人员现场检修调试
- 长期供给探针、陶瓷台、线束等损耗配件，支持批量储备采购
- 定期推送高温腔体、探针保养操作规范，延长仪器运转周期
10. FAQ 常见问答
Q：三款 FT-35 机型如何区分选型？
A：FT-351A 适配低阻导电板材；FT-351B 量程覆盖区间更广，市面主流半导体材料适配；FT-351C 针对高阻半导体、绝缘掺杂导电材料。
Q：测试温度能否超过 1200℃？
A：标配温控上限 1200℃，如需 1300/1700℃工况，可增购铂铑探针与配套高温样品台。
Q：测试试样形态有什么限制？
A：固态、颗粒、液态试样均可，搭配对应陶瓷样品台、刚坩埚即可完成检测。
Q：无电脑设备能否单独测试？
A：整机升温与数据采集依赖 PC 程序，无电脑无法开展完整梯度高温试验。
Q：气氛保护结构是否标配？
A：气氛保护为选配结构，惰性气氛高温试验可沟通加装配套管路组件。
Q：探针损耗后能否单独采购替换？
A：钨钼、铂铑探针均为损耗配件，可单独增购对应规格套件。
11. 关联产品（简洁）
- FT-371 室温四探针电阻率测试仪（常温薄膜方阻检测）
- FT-304/306 高阻绝缘材料电阻率仪
- FT-320TXW 碳纤维高温电阻率测试设备
- FT-310 炭素材料电阻检测仪
- FT-8600 粉末压实电阻率一体机
