手持式四探针方阻测试仪
发布时间： 2022-12-29 15:48:09 点击： 7661
FT-391系列手持式四探针方阻测试仪详情介绍
FT-391 Series handheld four-probe resistance tester
概述Overview：
参照硅片电阻率测量的标准（ASTM F84）；GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》；GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》；GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》，
采集集成电路恒流源系统，可充电式电源系统，上下限设定.
功能介绍Function introduction：
手持式外型结构，适用于车间生产、品管抽检，外出携带测量的场所；也适用于中小型半导体材料生产企业.
参数资料 Parameters：
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规格型号Specification model |
FT-391A |
FT-391B |
FT-391C |
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1.方块电阻范围sheet resistance |
10～2.00×102Ω/□ |
10～2.00×103Ω/□ |
10～2.00×104Ω/□ |
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2.电阻率范围resistivity |
1～2×103Ω-cm |
1～2×104Ω-cm |
1～2×105Ω-cm |
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3.分辨率resolution |
0.01Ω |
0.01Ω |
0.01Ω |
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4.显示读数display |
液晶显示：电阻率、方阻、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 LCD: resistivity. sheet resistance. unit conversion. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. |
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5.测试方式test mode |
单电测量single electrical measurement |
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6.工作电源working power |
5V.1000mA |
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7. 误差errors |
≤4.5%（标准样片结果standard samples） |
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8.选配choose to buy |
选配1.方形探头； 选配2.直线形探头；探针间距；选配3：探针间距1mm；2mm；3mm三种规格; 选配4：探针材质：碳化钨针;镀金磷铜半球形针square probe; 2. linear probe; 3.Optional probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes.4.Select probe material: tungsten carbide needle.gilded copper hemispherical needles. |
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FT-392 Series hand-held four-probe tester
参数资料
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规格型号specification model |
FT-392A |
FT-392B |
FT-392C |
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1.方块电阻范围sheet resistance |
0.1～2.00×102Ω/□ |
0.1～2.00×103Ω/□ |
0.1～2.00×104Ω/□ |
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2.电阻率范围resistivity range |
0.01～2×103Ω-cm |
0.01～2×104Ω-cm |
0.01～2×105Ω-cm |
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3.分辨率resolution |
0.01Ω |
0.01Ω |
0.01Ω |
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4.显示读数display |
液晶显示：电阻率、方阻、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 LCD: resistivity. sheet resistance. unit conversion. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness |
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5.测试方式test mode |
单电测量/ single electrical measurement |
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6.工作电源working power |
5V.1000mA |
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7. 误差errors |
≤4.5%（标准样片结果standard samples） |
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8.选配choose to buy |
选配1.方形探头； 选配2.直线形探头；探针间距；选配3：探针间距1mm；2mm；3mm三种规格; 选配4：探针材质：碳化钨针;镀金磷铜半球形针1.square probe; 2. linear probe; 3.Optional probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes.4.Select probe material: tungsten carbide needle. gilded copper hemispherical needles. |
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FT-393系列手持式方块电阻测试仪
FT-393 Series of hand-held Square resistance tester
技术参数资料
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规格型号specification model |
FT-393A |
FT-393B |
FT-393C |
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1.方块电阻范围sheet resistance |
0.01～2.00×102Ω/□ |
0.01～2.00×103Ω/□ |
0.01～2.00×104Ω/□ |
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2.电阻率范围resistivity range |
0.001～2×103Ω-cm |
0.001～2×104Ω-cm |
0.001～2×105Ω-cm |
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3.分辨率resolution |
0.001Ω |
0.001Ω |
0.001Ω |
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4.显示读数display |
液晶显示：电阻率、方阻、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 LCD: resistivity. sheet resistance. unit conversion. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness |
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5.测试方式test mode |
单电测量single electrical measurement |
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6.工作电源working power |
5V.1000mA |
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7.误差errors |
≤4.5%（标准样片结果standard samples） |
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8.选配choose to buy |
选配1.方形探头； 选配2.直线形探头；探针间距；选配3：探针间距1mm；2mm；3mm三种规格; 选配4：探针材质：碳化钨针;镀金磷铜半球形针1.square probe; 2. linear probe; 3.Optional probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes.4.Select probe material: tungsten carbide needle. gilded copper hemispherical needles. |
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FT-394系列手持式四探针电阻率测试仪
FT-394 Series hand-held four-probe resistivity tester
技术参数资料
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规格型号model |
FT-394A |
FT-394B |
FT-394C |
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1.方块电阻sheet resistance |
0.001～2.00×102Ω/□ |
0.001～2.00×103Ω/□ |
0.001～2.00×104Ω/□ |
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2.电阻率resistivity range |
0.0001～2×103Ω-cm |
0.0001～2×104Ω-cm |
0.0001～2×105Ω-cm |
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3.分辨率resolution |
0.001Ω |
0.001Ω |
0.001Ω |
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4.显示读数display |
液晶显示：电阻率、方阻、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 LCD: resistivity. sheet resistance. unit conversion. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness |
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5.测试方式test mode |
单电测量single electrical measurement |
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6.工作电源working power |
5V.1000mA |
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7.误差machine uncertain errors |
≤4.5%（标准样片结果standard samples） |
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8.选配choose to buy |
选配1.方形探头； 选配2.直线形探头；探针间距；选配3：探针间距1mm；2mm；3mm三种规格; 选配4：探针材质：碳化钨针;镀金磷铜半球形针1.square probe; 2. linear probe; 3.Optional probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes.4.Select probe material: tungsten carbide needle. gilded copper hemispherical needles. |
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适用范围Widely used：
1.覆盖膜;导电高分子膜，高、低温电热膜;隔热、导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层，电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料，其他半导体材料、薄膜材料方阻测试
2.硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻 半导体材料/晶圆、太阳能电池、电子元器件，导电薄膜（ITO导电膜玻璃等），金属膜，导电漆膜，蒸发铝膜，PCB铜箔膜，
3.EMI涂层等物质的薄层电阻与电阻率 导电性油漆，导电性糊状物，导电性塑料，导电性橡胶，导电性薄膜，金属薄膜，
4.抗静电材料， EMI 防护材料，导电性纤维，导电性陶瓷等，
1. 四探针单电测量方法
2. 液晶显示，自动测量，自动量程，自动系数补偿.
3. 集成电路系统、恒流输出.
4. 提供中文或英文两种语言操作界面选择
参照标准：
1.硅片电阻率测量的标准（ASTM F84）.
2.GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》.
3.GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》.
4.GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》
工作原理和计算公式
1.四探针法测试薄层样品方阻计算和测试原理如下：
直线四探针测试布局如图8，相邻针距分别为S1、S2、S3,根据物理基础和电学原理：
当电流通过1、4探针，2、3探针测试电压时计算如下：
1. 开启电源，预热5分钟.
2. 装配好探头和测试平台.
3. 设定所需参数.
4. 测量样品
5. 导出数据.
1. 自动量程
2. 准确稳定性.
3. 双电组合测试方法
4. 标准电阻校准仪器
5. 同时显示电阻、电阻率、电导率数据.
6. 可显示5位数字.
7. 中、英文界面
部分客户案例
福建万龙金刚石工具有限公司
杭州晶鑫镀膜包装有限公司
丹东海浩电子科技有限公司
杭州晶鑫镀膜包装有限公司
华南理工大学
远东福斯特新能源有限公司
南方科技大学
福建省泉州万龙实业有限公司
苏州环明电子科技有限公司
石家庄军械学院
天津仪恒达科技有限公司
南昌公瑾科技有限公司
木森林股份有限公司
北京瑞亿斯科技有限公司
浙江纳沛新材料有限公司
深圳市中科测仪电子科技有限公司
宁波恩迈智能科技有限公司
北京慧远伟业科技有限公司
中山市广卫消费设备有限公司
成都万成科技有限公司
河北德凯铁路信号器材有限公司
海南冷港科技有限公司
浙江世泰实业有限公司
南昌公瑾科技有限公司
上海蒙健实业有限公司
北京雪迪龙科技股份有限公司
艺奥品成像技术苏州有限公司
安徽师范大学
广西兴宏源科技有限公司
浙江立德产品技术有限公司
株洲麦格米特电气有限公责任公
江阴市中兴光电实业有限公司
江苏仪征电子管有限公司
北京思普特科技有限公司
东莞市塑高塑化科技有限公司
赫祯新材料科技（上海）有限公司
服务项目
1.质保：12个月，长期维护.
2.培训：操作培训：
电话教学；U盘教学文件；远程可视沟通；现场教学；说明书教学文件
3.保养和维护：
提供因知保养和维护文件、标识、表格 、保养提醒.
4.验证文件：
3Q验证文件、计量证书
5.扩展服务：
延保服务，样品测试服务，后延服务，仪器租赁服务.
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