导电膜双电测电四探针测试仪

发布时间: 2019-12-23 14:17:55 点击: 396
导电膜双电测电四探针测试仪

适用范围Widely used:

硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻  半导体材料/晶圆、太阳能电池、电子元器件,导电薄膜(ITO导电膜玻璃等),金属膜,导电漆膜,蒸发铝膜,PCB铜箔膜,

EMI涂层等物质的薄层电阻与电阻率  导电性油漆,导电性糊状物,导电性塑料,导电性橡胶,导电性薄膜,金属薄膜,

抗静电材料, EMI 防护材料,导电性纤维,导电性陶瓷等

 导电膜双电测电四探针测试仪

功能描述Description:

1. 四探针组合双电测量方法

2. 液晶显示,自动测量,自动量程,自动系数补偿.

3. 集成电路系统、恒流输出.

4. 选配:PC软件进行数据管理和处理.

5. 提供中文或英文两种语言操作界面选择

 导电膜双电测电四探针测试仪

参照标准:

1.硅片电阻率测量的标准(ASTM F84).

2.GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》.

3.GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》.

4.GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.

 导电膜双电测电四探针测试仪

双电组合测试方法:

利用电流探针、电压探针的变换,进行两次电测量,对数据进行双电测分析,解决样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响,适用于斜置式四探针对于微区的测试。

规格型号/ model

FT-341

FT-342

FT-343

FT-345

FT-346

FT-347

1.方块电阻sheet resistance

10-5~2×105Ω/□

10-4~2×105Ω/□

10-3~2×105Ω/□

10-3~2×104Ω /□

10-2~2×105Ω/□

10-2~2×104Ω/□

2.电阻率Resistivity

10-6~2×106Ω-cm

10-5~2×106Ω-cm

10-4~2×106Ω-cm

10-4~2×105Ω-cm

10-3~2×106Ω-cm

10-3~2×106Ω-cm

3.测试电流Test current

0.1μA.μA.0μA,100µA,1mA,10mA,100mA

1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA

0.1μA.μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA

1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA

0.1μA、1μA、10μA,100µA,1mA,10mA,100mA

1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA

4.电流精度Current

±0.1% accuracy

±0.2%  accuracy

±0.2%  accuracy

±0.3%  accuracy

±0.3%  accuracy

±0.3%  accuracy

5.电阻精度Resistance

≤0.3% accuracy

≤0.3% accuracy

≤0.3% accuracy

≤0.5% accuracy

≤0.5% accuracy

≤0.5% accuracy

6.显示读数display

屏液晶显示:电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率Large screen LCD: Resistance. resistivity. sheet resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity

7.测试方式

test mode双电测量Double electrical measurement

8.电源Power

输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<30W

9.误差errors

≤3%(标准样片结果)

10.选购功能choose to buy

选购1.pc软件; 选购2.方形探头; 选购3.直线形探头; 选购4.测试平台;5.标准电阻.1.pc software; 2. square probe; 3. linear probe; 4. test platform

11.测试探头test probe

探针间距选购:1mm;2mm;3mm三种规格; 探针材质选购:碳化钨针;白钢针;镀金磷铜半球形针Optional probe spacing: 1mm;2mm;3mm in three sizes.Select probe material: tungsten carbide needle. white steel needle. gilded copper hemispherical needles.