FT-3120C半自动四探针测试仪

发布时间: 2021-11-24 15:47:41 点击: 258
FT-3120C半自动四探针测试仪

FT-3120C半自动四探针测试仪

一.功能描述:

四点探针标准测试方法,采用步进系统自动控制探头与样品接触,减少人为因素对测试结果的影响;参照A.S.T.M 标准;测量方块电阻、电阻率、电导率数据、PC软件采集和数据处理实现自动点测模式或手动点测模式,同一位置的重复测试或多点的面电阻测量,报表输出数据统计分析;提供标准校准电阻件.

二.适用范围:

晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量;选择性发射极扩散片;表面钝化片;交叉指样PN结扩散片;新型电极设计,如电镀铜电阻测量等;半导体材料分析,铁电材料,纳米材料,太阳能电池,LCD,OLED,触摸屏等.

 规格型号 FT-3120C
1.电阻 10^-6~2×10^5Ω
2.方块电阻 10^-6~2×10^5Ω/□
3.电阻率 10-7~2×106Ω-cm
4.测试电流 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA
5.电流精度 ±0.1%
6.电阻精度 ≤0.3%
7.PC软件操作 PC软件界面:电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、数据管理分析:过程数据,大、小值,均值,方差,变异系数,样品编号,测试点数统计报表生成等
8.探针范围: 探针压力为100-550g;依据样品接触需要手动调节
9.探针 针间绝缘电阻:≥1000MΩ;机械游移率:≤0.3%
圆头铜镀金材质,探针间距1mm;2mm;3mm选配,其他规格可定制
10.可测晶片
尺寸选购 晶圆尺寸:2-12寸(6寸150mm,12寸300mm);
方形片:大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm
11.分析模式 自动或手动单点模式
12.加压方式 测量重复性:重复性≤3% 
13.防护功能 具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报
14.测试环境 实验室环境
15.电源 输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<100W 
16.选购项目 电脑和打印机