FT-3110A全自动四探针测试仪 产品详情
发布时间： 2026-04-22 13:36:41 点击： 16
FT-3110A全自动四探针测试仪是一款基于四点探针测量原理的自动化材料电性能检测设备，应用于半导体、新能源、光电材料等领域的方块电阻、电阻率与厚度测量。仪器采用全自动运行控制系统，搭配PC端采集分析软件，支持ASTM标准测试方法，可实现自动电流输出、自动电压采集、多点位扫描与2D/3D成像分析，为晶圆、半导体衬底、扩散片、电极材料等样品提供稳定的电阻检测方案，满足科研实验与工业化批量检测需求。
（二）产品特点
1. 全自动四探针测量：采用四点探针法，系统自动完成正/负电流输出与正/负电压测量，全程无需人工频繁干预，测试效率与一致性。
2. 宽量程高精度检测：方块电阻与电阻率覆盖超宽测量范围，电阻测试精度高，单点重复性优异，满足从低阻到高阻材料的多样化检测需求。
3. PC软件分析：配套分析软件，可实时显示电阻、电阻率、电导率、温湿度等数据，支持2D/3D扫描图谱生成、数据统计分析与测试报表导出。
4. 灵活可调测试配置：探针压力100–500g连续可调，支持单点、五点、九点、直径扫描、面扫描等多种测试模式，测试点位可设定。
5. 完善防护设计：具备限位量程保护、探针压力保护、误操作防护、紧急停止与异常警报功能，有效保护仪器与样品。
6. 适配多样样品载台：可选配2–12寸圆形晶圆载台与153mm×153mm内定制方片载台，兼容晶圆、扩散片、电极片、薄膜材料等多种样品形态。
FT-3110A全自动四探针测试仪采用四点探针测量法进行工作：
四根线性排列的探针以恒定压力接触样品表面，外侧两根探针通入恒定测试电流，在被测材料内部形成稳定电场；内侧两根探针采集该电场下的电位差电压信号。
系统通过采集电流与电压数值，结合探针间距、样品厚度与ASTM标准计算公式，自动换算出被测样品的方块电阻、电阻率与电导率。
仪器通过自动化运动控制系统驱动探针或载台移动，实现多点、线扫、面扫等批量测试，并将测试数据实时传输至PC软件进行处理、成像与归档，完成样品全域电性能分布分析。
（四）技术参数
- 产品型号：FT-3110A
- 方块电阻：10⁻⁵～2×10⁵Ω/□
- 电阻率：10⁻⁵～2×10⁵Ω·cm
- 测试电流：0.1μA、1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA
- 电阻精度：≤0.3%（标准电阻校准）
- 探针压力：100–500g 可调
- 探针配置：钨钢材质，探针间距1mm，机械游移率≤0.3%，可定制规格
- 测试模式：单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描自动测试
- 单点重复性：≤0.5%
- 样品载台：圆形载台支持2–12寸晶圆；方片载台支持153mm×153mm内定制
- 软件功能：电阻/电阻率/电导率显示、温湿度监测、单位换算、2D/3D图谱、报表生成
- 防护功能：限位保护、压力保护、误操作防护、急停开关、异常警报
- 工作电源：AC 220V±10%，50Hz，功耗＜600W
（五）适用范围
FT-3110A全自动四探针测试仪适用于导电与半导体材料的电性能参数测试，主要应用场景包括：
- 晶圆、非晶硅、微晶硅及半导体衬底材料电阻率测量；
- 选择性发射极扩散片、表面钝化片、交叉指型PN结扩散片检测；
- 新型电极材料、电镀铜电极等电阻性能测试；
- 半导体材料、铁电材料、纳米材料基础科研分析；
- 太阳能电池、LCD、OLED、触摸屏等光电产品制程检测。
（六）操作流程
1. 开机准备：连接仪器电源与电脑通讯，启动仪器主机与PC端分析软件，完成系统自检。
2. 样品放置：根据样品尺寸选择对应载台，将待测样品平整放置于载台位置并固定。
3. 参数设置：在软件中设置测试电流档位、探针压力、测试模式（单点/多点/面扫）、样品厚度等参数。
4. 仪器校准：使用标准校准电阻对系统进行校准，确保测量精度。
5. 自动测试：启动自动测试程序，仪器自动控制探针下降、施加电流、采集电压并记录数据。
6. 数据查看：测试完成后，在软件中查看电阻、电阻率数值，生成2D/3D分布图谱与统计数据。
1. 售前技术支持
- 提供FT-3110A全自动四探针测试仪技术咨询、方案选型与应用指导；
- 支持客户样品测试服务，出具样品检测数据报告，确认仪器适用性。
2. 售中安装调试
- 工程师上门安装、调试仪器，完成系统校准与操作培训；
- 提供完整操作手册、软件教程与技术资料，确保操作人员使用。
3. 售后服务
- 仪器提供标准质保服务，质保期内非人为损坏故障维修与更换配件；
- 响应售后报修，远程技术指导与现场维修相结合，保障设备正常运行。
4. 延保服务
- 可选购1–3年延长保修服务，延保期内享受同等质保维修服务；
- 定期上门巡检、校准与维护，降低设备故障率，延长仪器使用寿命。
5. 持续技术服务
- 软件升级，持续优化测试功能与数据处理能力；
- 长期提供配件供应、探针更换、载台定制等技术服务。
（八）包装配件
标准配置
- FT-3110A全自动四探针测试仪主机 1台
- 直线型四探针 1个
- 弹簧钨针（4根/组） 1组
- 镀金弹簧铜针（4根/组） 1组
- 测试线 1套
- 标准校准电阻 1个
- 分析软件 1套
- 产品说明书、合格证、保修卡 1套
选购配件
- 2/4/6/12寸晶圆样品台
- 153mm×153mm定制方片载台
- 多规格标准电阻（1–5个可选）
- 电脑与打印机套装
- 计量检测证书服务
- 1–3年延保服务
（九）售后服务
1. 仪器自验收合格之日起享受标准质保，质保期内维修、更换非人为损坏零部件。
2. 提供7×12小时技术咨询，接到故障反馈后响应，远程排查解决问题。
3. 无法远程修复的故障，安排工程师上门维修，缩短停机时间。
4. 长期供应探针、测试线、标准电阻等易损配件，价格透明，供货稳定。
5. 提供软件版本升级、操作培训与技术文档更新，保障设备长期稳定使用。
6. 可根据客户需求提供计量校准、年度维护、延保等增值服务。
（十）FAQ
1. FT-3110A可以测试哪些样品？
可测试晶圆、半导体衬底、扩散片、钝化片、电极片、薄膜材料、纳米材料、铁电材料等，用于太阳能电池、LCD、OLED、触摸屏等产品检测。
2. 仪器的测试精度如何？
仪器配备标准校准电阻，可定期校准；采用高精度采集电路，电阻精度≤0.3%，单点重复性≤0.5%，满足高精度检测需求。
3. 探针压力可以调节吗？对样品有影响吗？
探针压力100–500g可调，适配薄膜、易碎样品与硬质材料，同时配备压力保护功能，避免压伤样品。
4. 是否支持自动批量测试与数据导出？
支持，仪器具备多点、线扫、面扫自动测试模式，PC软件可生成2D/3D图谱，并支持数据、报表导出与存档。
5. 样品载台可以定制吗？
圆形载台支持2–12寸晶圆，方片载台可在153mm×153mm范围内定制，满足不同尺寸样品测试。
6. 仪器出现故障如何处理？
可直接联系售后客服，进行远程排查指导，无法解决时将安排人员上门维修服务。
7. 易损件如探针如何购买？
厂家长期供应弹簧钨针、镀金铜针、测试线等配件，可直接订购，确保仪器正常使用。
8. 是否提供样品测试服务？
提供客户来样测试服务，可出具测试数据报告，方便客户确认设备适用性再进行采购。
（二）产品特点
1. 全自动四探针测量：采用四点探针法，系统自动完成正/负电流输出与正/负电压测量，全程无需人工频繁干预，测试效率与一致性。
2. 宽量程高精度检测：方块电阻与电阻率覆盖超宽测量范围，电阻测试精度高，单点重复性优异，满足从低阻到高阻材料的多样化检测需求。
3. PC软件分析：配套分析软件，可实时显示电阻、电阻率、电导率、温湿度等数据，支持2D/3D扫描图谱生成、数据统计分析与测试报表导出。
4. 灵活可调测试配置：探针压力100–500g连续可调，支持单点、五点、九点、直径扫描、面扫描等多种测试模式，测试点位可设定。
5. 完善防护设计：具备限位量程保护、探针压力保护、误操作防护、紧急停止与异常警报功能，有效保护仪器与样品。
6. 适配多样样品载台：可选配2–12寸圆形晶圆载台与153mm×153mm内定制方片载台，兼容晶圆、扩散片、电极片、薄膜材料等多种样品形态。
7. 标准化校准与溯源：配备标准校准电阻件，确保测量数据准确可靠，可提供计量检测证书，满足实验室计量与质量管控要求。
FT-3110A全自动四探针测试仪采用四点探针测量法进行工作：
四根线性排列的探针以恒定压力接触样品表面，外侧两根探针通入恒定测试电流，在被测材料内部形成稳定电场；内侧两根探针采集该电场下的电位差电压信号。
系统通过采集电流与电压数值，结合探针间距、样品厚度与ASTM标准计算公式，自动换算出被测样品的方块电阻、电阻率与电导率。
仪器通过自动化运动控制系统驱动探针或载台移动，实现多点、线扫、面扫等批量测试，并将测试数据实时传输至PC软件进行处理、成像与归档，完成样品全域电性能分布分析。
（四）技术参数
- 产品型号：FT-3110A
- 方块电阻：10⁻⁵～2×10⁵Ω/□
- 电阻率：10⁻⁵～2×10⁵Ω·cm
- 测试电流：0.1μA、1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA
- 电阻精度：≤0.3%（标准电阻校准）
- 探针压力：100–500g 可调
- 探针配置：钨钢材质，探针间距1mm，机械游移率≤0.3%，可定制规格
- 测试模式：单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描自动测试
- 单点重复性：≤0.5%
- 样品载台：圆形载台支持2–12寸晶圆；方片载台支持153mm×153mm内定制
- 软件功能：电阻/电阻率/电导率显示、温湿度监测、单位换算、2D/3D图谱、报表生成
- 防护功能：限位保护、压力保护、误操作防护、急停开关、异常警报
- 工作电源：AC 220V±10%，50Hz，功耗＜600W
（五）适用范围
FT-3110A全自动四探针测试仪适用于导电与半导体材料的电性能参数测试，主要应用场景包括：
- 晶圆、非晶硅、微晶硅及半导体衬底材料电阻率测量；
- 选择性发射极扩散片、表面钝化片、交叉指型PN结扩散片检测；
- 新型电极材料、电镀铜电极等电阻性能测试；
- 半导体材料、铁电材料、纳米材料基础科研分析；
- 太阳能电池、LCD、OLED、触摸屏等光电产品制程检测。
（六）操作流程
1. 开机准备：连接仪器电源与电脑通讯，启动仪器主机与PC端分析软件，完成系统自检。
2. 样品放置：根据样品尺寸选择对应载台，将待测样品平整放置于载台位置并固定。
3. 参数设置：在软件中设置测试电流档位、探针压力、测试模式（单点/多点/面扫）、样品厚度等参数。
4. 仪器校准：使用标准校准电阻对系统进行校准，确保测量精度。
5. 自动测试：启动自动测试程序，仪器自动控制探针下降、施加电流、采集电压并记录数据。
6. 数据查看：测试完成后，在软件中查看电阻、电阻率数值，生成2D/3D分布图谱与统计数据。
7. 报表导出：导出测试数据、图表与检测报告，关闭软件并关闭仪器电源，取下样品完成测试。
1. 售前技术支持
- 提供FT-3110A全自动四探针测试仪技术咨询、方案选型与应用指导；
- 支持客户样品测试服务，出具样品检测数据报告，确认仪器适用性。
2. 售中安装调试
- 工程师上门安装、调试仪器，完成系统校准与操作培训；
- 提供完整操作手册、软件教程与技术资料，确保操作人员使用。
3. 售后服务
- 仪器提供标准质保服务，质保期内非人为损坏故障维修与更换配件；
- 响应售后报修，远程技术指导与现场维修相结合，保障设备正常运行。
4. 延保服务
- 可选购1–3年延长保修服务，延保期内享受同等质保维修服务；
- 定期上门巡检、校准与维护，降低设备故障率，延长仪器使用寿命。
5. 持续技术服务
- 软件升级，持续优化测试功能与数据处理能力；
- 长期提供配件供应、探针更换、载台定制等技术服务。
（八）包装配件
标准配置
- FT-3110A全自动四探针测试仪主机 1台
- 直线型四探针 1个
- 弹簧钨针（4根/组） 1组
- 镀金弹簧铜针（4根/组） 1组
- 测试线 1套
- 标准校准电阻 1个
- 分析软件 1套
- 产品说明书、合格证、保修卡 1套
选购配件
- 2/4/6/12寸晶圆样品台
- 153mm×153mm定制方片载台
- 多规格标准电阻（1–5个可选）
- 电脑与打印机套装
- 计量检测证书服务
- 1–3年延保服务
（九）售后服务
1. 仪器自验收合格之日起享受标准质保，质保期内维修、更换非人为损坏零部件。
2. 提供7×12小时技术咨询，接到故障反馈后响应，远程排查解决问题。
3. 无法远程修复的故障，安排工程师上门维修，缩短停机时间。
4. 长期供应探针、测试线、标准电阻等易损配件，价格透明，供货稳定。
5. 提供软件版本升级、操作培训与技术文档更新，保障设备长期稳定使用。
6. 可根据客户需求提供计量校准、年度维护、延保等增值服务。
（十）FAQ
1. FT-3110A可以测试哪些样品？
可测试晶圆、半导体衬底、扩散片、钝化片、电极片、薄膜材料、纳米材料、铁电材料等，用于太阳能电池、LCD、OLED、触摸屏等产品检测。
2. 仪器的测试精度如何？
仪器配备标准校准电阻，可定期校准；采用高精度采集电路，电阻精度≤0.3%，单点重复性≤0.5%，满足高精度检测需求。
3. 探针压力可以调节吗？对样品有影响吗？
探针压力100–500g可调，适配薄膜、易碎样品与硬质材料，同时配备压力保护功能，避免压伤样品。
4. 是否支持自动批量测试与数据导出？
支持，仪器具备多点、线扫、面扫自动测试模式，PC软件可生成2D/3D图谱，并支持数据、报表导出与存档。
5. 样品载台可以定制吗？
圆形载台支持2–12寸晶圆，方片载台可在153mm×153mm范围内定制，满足不同尺寸样品测试。
6. 仪器出现故障如何处理？
可直接联系售后客服，进行远程排查指导，无法解决时将安排人员上门维修服务。
7. 易损件如探针如何购买？
厂家长期供应弹簧钨针、镀金铜针、测试线等配件，可直接订购，确保仪器正常使用。
8. 是否提供样品测试服务？
提供客户来样测试服务，可出具测试数据报告，方便客户确认设备适用性再进行采购。
