FT-3110 全自动四探针测试仪 12 寸晶圆电阻率面扫描 2D3D 方阻分布检测设备
发布时间： 2026-06-28 11:07:30 点击： 32
1. 产品介绍
ROOKO 瑞柯微 FT-3110 系列全自动四探针测试仪由宁波瑞柯析理仪器有限公司推出，为半导体、光伏行业适配的全自动化电性能检测设备，基于直线四探针测试原理开发，搭载 XY 电动移动载台与 PC 智能分析系统，无需人工移动探针即可完成全域自动选点测试。整机符合 ASTM F84 半导体测试标准，自动切换正负电流消除极化干扰，可同步采集方块电阻、电阻率、电导率数据，自动生成 2D/3D 电阻分布云图与统计报表，区分 FT-3110A 通用款、FT-3110B 宽量程可扩展款，适配 2-12 寸晶圆、光伏电池片、导电薄膜批量检测，覆盖半导体制造产线全检、光伏工艺管控、新材料研发实验室等场景，测试效率与数据一致性优于手动四探针设备。
2. 产品特点
- 全自动化测试架构：XY 电动载台自动走位，无需人工调整样品位置，支持单点、五点、九点、直径扫描、全域面扫描多模式自动运行
- 可视化数据输出：PC 软件实时生成 2D 等值线图、3D 立体分布云图，直观呈现整片样品电阻均匀性，支持大、小值、平均值、变异系数自动统计
- 双向恒流检测：自动切换正、负电流输出与电压采集，抵消材料极化电势干扰，单点测试重复性≤0.5%，数据稳定
- 探针压力可调：探针压力 100-500g 区间软件可调，适配不同硬度、厚度样品，降低探针压痕损伤风险
- 双型号量程覆盖：FT-3110A 适配常规半导体、光伏样品；FT-3110B 搭载宽电流模块，覆盖更低阻样品检测，支持功能扩展
- 载台规格可定制：标配可适配 2-12 寸圆形晶圆载台，也可定制 153mm×153mm 以内方形载台，适配方片样品检测
- 多参数同步采集：同步显示电阻、电阻率、电导率、方阻、温湿度、探针间距、样品厚度参数，支持单位自动换算
- 多重防护：配备行程限位、探针压力保护、误操作急停按钮、异常状态声光警报，降低设备与样品损坏风险
- 标准校准体系：配套标准校准电阻件，支持电阻校准、坐标中心校准，保障测试数据溯源性
- 标准化报表输出：自动生成批量测试报表，支持数据导出、打印，适配产线质量管控、实验室数据归档需求
3. 工作原理
设备基于直流四探针测试法结合电动载台自动定位技术，实现整片样品电阻分布自动化检测：
- 四根钨钢探针以固定间距垂直接触样品表面，外侧两根探针输出恒定测试电流，内侧两根探针采集对应电压差，结合探针间距、样品厚度自动运算方块电阻、体积电阻率与电导率；
- 测试过程中 XY 电动载台按预设点位自动移动，探针按顺序完成各点位测试，无需人工干预；
- 系统自动切换正反向电流测试，抵消材料极化电势与接触电势带来的数值偏移，提升数据准确性；
- 点位测试完成后，软件自动整合全域数据，通过插值算法生成 2D 等值线分布图、3D 立体电阻云图，同步计算整片样品电阻大、小值、平均值、标准偏差、变异系数，直观反映样品导电均匀性；
- 可根据工艺需求选择直径扫描模式检测径向电阻差异，或面扫描模式完成整片样品电阻分布测绘，为半导体扩散、光伏镀膜工艺调整提供量化数据支撑。
4. 技术参数
| 测试项目 | FT-3110A | FT-3110B（可扩展） |
|---|---|---|
| 方块电阻测量范围 | 10⁻⁵～2×10⁵Ω/□ | 10⁻⁶～2×10⁵Ω/□ |
| 电阻率测量范围 | 10⁻⁵～2×10⁵Ω·cm | 10⁻⁶～2×10⁶Ω·cm |
| 测试电流档位 | 0.1μA/1μA/10μA/100μA/1mA/10mA/100mA | 0.1μA/1μA/10μA/100μA/1mA/10mA/100mA/1A |
| 电阻测量精度 | ≤0.3%（标准电阻） | ≤0.3%（标准电阻） |
| 单点测试重复性 | ≤0.5% | ≤0.5% |
| 探针压力调节范围 | 100-500g 软件可调 | 100-500g 软件可调 |
| 探针配置 | 钨钢材质，探针间距 1mm，机械游移率≤0.3%，其他规格可定制 | 钨钢材质，探针间距 1mm，机械游移率≤0.3%，其他规格可定制 |
| 载台规格 | 圆形载台适配 2-12 寸晶圆；方形载台支持 153mm×153mm 以内定制 | 圆形载台适配 2-12 寸晶圆；方形载台支持 153mm×153mm 以内定制 |
| 测试模式 | 单点、五点、九点、多点、直径扫描、全域面扫描自动测试 | 单点、五点、九点、多点、直径扫描、全域面扫描自动测试 |
| 软件功能 | 多参数显示、2D/3D 图谱生成、数据统计、报表导出打印、温湿度显示 | 多参数显示、2D/3D 图谱生成、数据统计、报表导出打印、温湿度显示、功能扩展 |
| 防护 | 行程限位、压力保护、急停按钮、异常警报 | 行程限位、压力保护、急停按钮、异常警报 |
| 整机供电 | AC220V±10%，50Hz，功耗＜600W | AC220V±10%，50Hz，功耗＜600W |
5. 适用范围
- 适配材料：半导体硅 / 锗晶圆、非晶硅 / 微晶硅衬底、太阳能电池片、选择发射极扩散片、表面钝化片、PN 结扩散片、ITO 导电薄膜、金属镀层、铁电材料、纳米导电材料、触控屏导电层；
- 应用场景：半导体晶圆制造产线全检、光伏电池扩散 / 镀膜工艺管控、显示面板导电层均匀性检测、新材料实验室电性能表征、第三方检测机构批量测试；
- 检测指标：方块电阻、体积电阻率、电导率、整片样品电阻均匀性、径向电阻分布差异、批次电阻稳定性；
- 适配标准：ASTM F84、GB/T 1551、GB/T 1552、GB/T 26074 半导体与导电薄膜测试通用标准。
6. 操作流程（简洁版）
- 设备接通 220V 电源，连接通讯线至电脑，安装配套 PC 分析软件，完成端口匹配与通讯连接；
- 安装对应尺寸晶圆载台，使用标准电阻完成电阻校准，运行坐标校零完成载台定位校准；
- 使用晶圆吸笔将待测样品平稳放置于载台中心，关闭遮光盖；
- 软件设置样品尺寸、测试模式、测试点位、探针压力、电流档位参数；
- 启动自动测试程序，载台自动走位完成点位测试，实时显示测试数据与图谱；
- 测试完成后，软件自动生成统计报表与分布云图，支持数据导出、打印；
- 打开遮光盖，取出样品，清洁探针与载台，关闭软件与设备电源。
7. 配套服务项目（简洁版）
- 售后服务：整机基础质保，线上远程操作指导、软件调试，设备故障安排到场检修；
- 延保服务：可选购 1-3 年期延保，延长整机保修周期；
- 样品测试：合作实验室承接晶圆、薄膜样品批量测试业务，同步出具计量证书；
- 技术升级：软件功能迭代、载台规格扩展、量程模块升级服务；
- 仪器租赁：适配短期项目、临时批量检测需求的设备租赁方案；
- 仪器定制：载台尺寸、探针规格、测试功能按实际工况定制。
8. 包装配件（标准配置外选购件）
| 序号 | 配件型号 | 配件名称 | 单位 | 配置说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 3310-CSX | 测试通讯线 | 套 | 标配 1 套 |
| 2 | 09A | 标准校准电阻 | 个 | 选购 1-5 个，规格按需匹配 |
| 3 | 3310-YPT-2 | 晶圆样品载台 | 套 | 2/4/6/8/12 寸圆形载台，或方形载台按需选购 |
| 4 | 3310-06B | 四探针测试探头 | 个 | 直线型钨钢探头，可增购备用 |
| 5 | 340-TTZ | 镀金弹簧铜针组件 | 组 | 4 根 / 组，软质样品适配探针 |
| 6 | 340-WTZ | 弹簧钨针组件 | 组 | 4 根 / 组，硬质样品耐磨探针 |
| 7 | 3310-RJ | PC 数据分析软件 | 套 | 标配 1 套，含 2D/3D 图谱、报表功能 |
| 8 | PC | 电脑 + 打印设备 | 套 | 按需搭配，满足 win10 及以上系统配置要求 |
| 9 | 3310-JL | 计量检测证书 | 份 | 选购，合作机构出具的校准认证文件 |
| 10 | 3110-XB | 晶圆吸笔 | 支 | 标配 1 支，用于取放晶圆样品 |
| 11 | 3110-YB | 设备延保服务 | 年 | 选购 1-3 年延保周期 |
9. 售后服务（简洁）
- 整机基础质保周期内，非人为损坏零部件提供更换服务；
- 提供长期线上远程操作培训、故障排查、软件调试支持；
- 探针、载台等损耗配件可单独采购补给；
- 配套 PC 软件持续迭代更新，优化测试功能与数据处理能力；
- 可预约到场设备校准、维护与功能升级服务。
10. FAQ 常见问答
Q1：FT-3110A 和 FT-3110B 有什么区别，怎么选型？
A：常规半导体晶圆、光伏电池片检测可选择 FT-3110A；需要测试极低阻金属镀层、大电流测试场景，或后续需要扩展功能，合适之选为 FT-3110B。
Q2：设备可以测试多大尺寸的样品？
A：圆形晶圆适配 12 寸（300mm），方形样品可定制 153mm×153mm 以内载台，特殊尺寸可沟通定制。
Q3：面扫描模式可以自己设置测试点数吗？
A：支持，软件内可自定义测试点位密度、扫描路径，满足不同均匀性检测精度需求。
Q4：探针磨损后可以单独更换吗？
A：可以，钨钢探针、镀金铜针均为组件式设计，磨损后可单独购买针组更换，无需更换整个探头。
Q5：测试生成的 3D 图谱可以导出图片格式吗？
A：配套软件支持 2D/3D 图谱导出为图片格式，原始测试数据可导出为 Excel 格式，适配报告编写与数据归档。
Q6：设备日常校准可以自主完成吗？
A：日常电阻校准、坐标校零可按说明书步骤自主完成；年度计量校准可预约工作人员到场完成。
11. 关联产品（简洁）
- FT-330/340/361/371 手动四探针测试仪（小样品手动点测场景）
- FT-351 高温四探针测试仪（高温环境下材料电阻率检测）
- FT-394C 手持式四探针测试仪（现场快速抽检场景）
- FT-551 系列自动极片电阻测试仪（锂电池正负极片整体电阻检测）
- FT-8600 粉末电阻率压实密度一体机（导电粉体、石墨材料电性能检测）
