FT-3120B 半导体四探针测试仪 纳米薄膜 LCD OLED 电阻测试仪器
发布时间： 2026-06-28 19:20:49 点击： 19
1. 产品介绍
FT-3120B 半自动四探针测试仪为 ROOKO 瑞柯微自研半导体、光伏、薄膜材料用检测设备，由宁波瑞柯析理仪器经销供应。设备采用行业通用四点探针测试法，对标 ASTM 通用标准，搭载步进控制系统驱动探针接触样品，减少人工操作带来的数据波动。
设备支持单点单次、多点面扫描两类分析模式，自动切换正负电流、正负电压消除热电势误差；搭配配套 PC 分析软件，可采集存储电阻、方块电阻、电阻率、电导率、厚度、压强全部过程数据，自动计算极值、均值、方差、变异系数并生成标准化报表。适配 2~12 寸晶圆、方形硅片、透明导电膜、半导体衬底等多类薄片试样，用于新材料实验室、光伏制造、电子显示行业质量管控。
2. 产品特点
- 步进自动探头升降系统，替代人工下压，减少人为接触偏差，测量均衡
- 自动双向电流电压输出采集，弱化热电势对薄层低阻数据的干扰
- 双材质探针可选：圆头铜镀金、钨钢探针，探针间距 1/2/3mm 可更换、非标可定制
- 探针压力区间 100-550g 可调，适配薄脆晶圆与硬质导电薄膜不同接触需求
- 针间绝缘电阻≥1000MΩ，机械游移率≤0.3%，接触稳定性良好
- 限位与压力双重防护结构，规避探针下压过度划伤试样
- PC 软件多维度数据统计，支持多点面电阻测绘，完整留存试样导电均匀性数据
- 可更换多规格样品台，覆盖 2 寸至 12 寸晶圆、156mm 方形硅片
- 标配标准校准电阻，设备自检校准流程简便，误差可控
3. 工作原理
仪器采用四线制四探针标准测试原理：
- 试样平整放置对应规格样品台，设定探针压力、测试点位、电流档位；
- 步进模组驱动四根探针同步下压贴合样品表层，外侧两根探针通入恒定直流电流，内侧两根探针采集薄层电压差值；
- 设备自动切换正、反向两组电流电压，抵消材料热电势产生的数据偏移；
- 内置算法结合探针间距、样品厚度自动换算方块电阻、电阻率、电导率；
- 多点位扫描模式下依次采集不同区域数值，PC 端汇总全部数据生成均匀性曲线与检测报表。
4. 技术参数
| 参数项目 | FT-3120B 规格参数 |
|---|---|
| 电阻测量区间 | 10⁻⁵～2×10⁵Ω |
| 方块电阻范围 | 10⁻⁵～2×10⁵Ω/□ |
| 电阻率测量区间 | 10⁻⁵～2×10⁵Ω·cm |
| 测试电流档位 | 0.1μA、1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA |
| 电流精度 | ±0.1% |
| 电阻精度 | ≤0.3% |
| 测量重复性 | ≤3% |
| 探针压力可调区间 | 100g~550g |
| 探针性能 | 针间绝缘≥1000MΩ；机械游移率≤0.3% |
| 可选探针规格 | 镀金铜针、钨钢针；间距 1/2/3mm，非标可定制 |
| 适配样品尺寸 | 晶圆 2~12 寸；方片 125/156mm |
| 分析模式 | 自动单点、手动单点、多点面扫描 |
| 防护配置 | 限位保护、压力过载保护 |
| PC 软件显示维度 | 电阻、方阻、电阻率、电导率、厚度、温度、电流、电压、探针间距、均值、方差、变异系数 |
| 供电规格 | AC220V±10%，50Hz，整机功耗＜100W |
| 适用工况 | 常规实验室恒温环境 |
| 标配校准件 | 标准校准电阻 1 个 |
5. 适用范围
- 光伏行业：单 / 多晶硅片、选择性发射极扩散片、表面钝化片、太阳能电池导电层检测
- 半导体行业：硅晶圆、非晶硅、微晶硅衬底、PN 结交叉指电极、电镀铜电极测量
- 显示行业：LCD、OLED、触摸屏 ITO/FTO 透明导电薄膜电阻率检测
- 新材料实验室：铁电材料、纳米导电涂层、薄层导体科研试验
- 合作检测机构：依据 ASTM 标准开展薄层、半导体衬底第三方电性能检测
6. 操作流程（简洁）
- 接通 220V 稳定电源，通讯线路连接仪器与电脑，安装配套分析软件；
- 匹配试样尺寸安装对应晶圆样品台，放置无划痕平整试样；
- 在软件设置探针间距、测试压力、电流档位、扫描点位数量；
- 选择单点 / 多点扫描模式，启动测量，步进机构自动完成探针升降采集；
- 测试完成后软件自动统计全部数据，导出 Excel 格式报表与均匀性数据；
- 抬升探针，取出试样，关闭设备与软件。
7. 综合服务项目（简洁版）
- 样品测试服务：薄膜、晶圆试样预检测，输出完整多点扫描数据记录
- 延保服务：可选 1~3 年延保周期，延长设备维保周期
- 计量检测服务：配套计量证书，满足实验室资质审核要求
- 仪器定制服务：非标探针间距、超大尺寸样品台按需调整
- 技术升级服务：软件算法、硬件步进模组功能迭代优化
8. 包装配件（表格）
（1）出厂标准配件
| 品名 | 型号 | 单位 | 数量 |
|---|---|---|---|
| FT-3120B 主机 | FT-3120B | 台 | 1 |
| 测试线 | 3310-CSX | 套 | 1 |
| 直线型四探针探头 | 3310-06B | 个 | 1 |
| 标准校准电阻 | 09A | 个 | 1 |
| 设备说明书、合格证 | 配套资料 | 套 | 1 |
（2）可选增购配件
| 序号 | 型号 | 品名 | 单位 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 340-TTZ | 镀金弹簧铜针组 | 组 | 4 根 / 组，替换耗材 |
| 2 | 340-WTZ | 弹簧钨针组 | 组 | 耐磨高硬度探针 |
| 3 | 3310-YPT-2 | 多尺寸晶圆样品台 | 套 | 2/4/6/12 寸可选 |
| 4 | 3310-RJ | PC 分析软件 | 套 | 多点扫描报表功能 |
| 5 | PC | 电脑 + 打印机 | 套 | 按工况搭配 |
| 6 | 3310-JL | 计量技术服务 | 份 | 附带计量证书 |
| 7 | 3120B-YB | 延保服务 | 年 | 1~3 年可选 |
9. 售后服务（简洁）
- 原厂基础质保周期内，非人为硬件故障提供维修、配件更换支持；
- 软件参数调试、操作问题提供线上远程技术指导；
- 设备故障无法线上处置时，安排到场检修服务；
- 定期推送探针保养、设备校准操作指引文档；
- 长期供应原厂探针、测试线等替换耗材。
10. FAQ 常见问题
Q1：FT-3120B 能否测试超薄柔性导电薄膜？
A：可以，可下调探针压力至低档位，搭配软质载片支撑，避免薄膜破损，支持 ITO、银纳米线柔性膜检测。
Q2：设备支持 12 寸整片晶圆全自动连续扫描吗？
A：半自动机型需人工更换晶圆，搭配对应 12 寸样品台可完成整片多点点位采集；全自动机型可参考 FT-3110 系列。
Q3：导出的数据能否直接用于实验室台账归档？
A：配套软件支持报表、原始点位数据导出，文档适配办公软件，可直接打印存档。
Q4：设备校准周期建议多久？
A：实验室研发场景建议 6 个月校准；产线批量质检建议 3 个月校准，可同步选购计量服务出具证书。
Q5：环境粉尘过多会影响测量吗？
A：探针与样品表面积灰接触电阻大，建议测试前清洁样品与探针，放置洁净工作台使用。
11. 关联产品（简洁）
- FT-3110 全自动四探针测试仪：全自动多点位晶圆扫描，适配大批量产线
- FT-371 高阻双电四探针仪：绝缘薄膜、高阻半导体薄层检测
- FT-361 低阻四探针测试仪：金属镀层、低阻导电材料测量
- FT-542SJB 双极板电阻测试仪：液流电池炭毡压缩电阻检测
- FT-300 导体粉末电阻率仪：导电粉体、负极材料电性能测试
