两探针直流电阻率测试仪 FT-300TZ 棒状半导体材料电阻电导率检测装置
发布时间： 2026-06-28 11:41:12 点击： 5
1. 产品介绍
ROOKO 瑞柯微 FT-300TZ 两探针电阻率测试仪由宁波瑞柯析理仪器经销，专为棒状半导体材料纵向电学性能检测打造，遵循 GB/T 1551-2021、SEMI MF 397-1106 标准两探针测试规范。
设备搭配钨探针测量平台，针对长径比不小于 3:1 圆形、方形、矩形硅单晶棒完成电阻、电阻率、电导率采集；支持自动正负电流 / 电压换向测量，内置温度补偿运算程序，液晶面板同步展示全套电学参数，选配 PC 分析程序可完成数据留存、报表导出，适配光伏拉晶车间、半导体材料工厂、高校新材料实验室、合作检测机构物性试验。
2. 产品特点
- 两探针检测架构，适配长棒状硅芯、硅锭纵向电阻率检测，弱化边缘测试带来的数据偏差
- 自动切换正向、反向电流与电压回路，抵消热电势带来数值偏移，数据稳定
- 内置温度补偿换算程序，适配 23℃标准测试环境，无需人工换算修正参数
- 一体化钨探针测试平台，探针游移误差可控，接触点位统一，复测一致性优良
- 探针绝缘规格充足，探针间绝缘电阻大于 10⁹欧，规避漏电流干扰测量结果
- 多档位直流恒流输出，微安至安级电流覆盖低阻至高阻半导体材料测量区间
- 液晶大屏同步显示电阻、电阻率、电导率、温度、试样尺寸、电流电压全套数据
- 探针间距、硅棒夹持尺寸均可按需定制，适配多规格硅芯、检验棒
- 选配中英文 PC 数据分析程序，自动记录全过程数据，生成可导出测试报表
- 整机 220V 常规供电，结构紧凑，实验室、产线工位均可放置使用
3. 工作原理
FT-300TZ 依据国标与 SEMI 两探针测试规范设计，将两根钨探针垂直压合于均匀棒状半导体试样表面，主机输出可控恒定直流电流，采集探针之间微小电压信号；设备录入试样截面尺寸、长度参数，内置运算单元依据两探针法计算公式自动换算试样纵向电阻、体积电阻率、电导率。
设备自动轮换正负测试回路取均值，降低珀尔帖、塞贝克副效应影响；同步采集环境温度，调用半导体温度系数完成标准化换算；选配电脑端程序实时同步存储测量数据，形成完整测试记录，用于材料均匀度分析与出厂质检归档。
4. 技术参数（表格）
| 参数项目 | 详细规格 |
|---|---|
| 电阻率测量范围 | 10⁻⁷～2×10⁷ Ω·cm |
| 电阻量程 | 10⁻⁷～2×10⁷ Ω |
| 电导率区间 | 5×10⁻⁸～10⁷ S/cm |
| 电阻分辨率 | 0.1μΩ，测量误差 ±（0.05% 读数 ±5 字） |
| 电压测量档位 | 2mV/20mV/200mV/2V；分辨率 0.1μV~100μV，精度 ±0.1% 读数 |
| 直流输出电流 | 0~1000mA 连续可调；档位 0.1μA/1μA/10μA/100μA/1mA/10mA/1000mA，误差 ±0.2% 读数 ±2 字 |
| 标准测试温度 | 23℃±1℃ |
| 主机供电 | AC220V±10%，50/60Hz |
| 标配探针平台参数 |
1. 适配硅棒直径 4~22mm（可定制）
|
| 适配试样条件 | 横截面积均匀圆形 / 方形 / 矩形硅单晶，长度与截面尺寸比值≥3:1 |
| 配套通用标准 | GB/T 1551-2021，SEMI MF 397-1106 |
| 显示内容 | 电阻、电阻率、电导率、温度、截面尺寸、电流、电压、单位自动换算 |
5. 适用范围
- 光伏行业：单晶硅棒、硅芯、检验硼棒 / 磷棒纵向电阻率出厂抽检、拉晶工艺管控
- 半导体产业：硅单晶锭、长条半导体基体材料电学均匀度检测
- 新材料实验室：高校、科研院所棒状半导体材料导电特性课题试验
- 合作检测机构：执行国标、SEMI 标准硅材料型式检验、来料检测
- 适配试样形态：长径比≥3:1 圆形、方形、矩形均匀半导体棒材，可定制夹具适配异型长条导电试样
6. 操作流程（简洁）
- 仪器接通 220V 电源，开机静置至设备达到 23℃标准测试环境；
- 将硅棒试样平稳放置于两探针测试平台，调整夹持位置使探针垂直贴合试样表面；
- 在显示界面录入试样直径 / 截面尺寸、长度参数；
- 选定适配测试电流档位，启动自动测量；
- 设备自动正负换向采集数据，屏幕同步读取电阻、电阻率、电导率；
- 选配 PC 软件同步留存数据，测试完成导出、打印试验报表；
- 测量完成抬起探针，取下试样，关闭设备电源并清洁探针平台。
7. 配套服务项目（简洁）
- 售后服务：线上远程技术调试，故障无法远程处理时提供到场检修服务
- 延保服务：可选购 1 至 3 年整机延保周期，降低后期维护支出
- 样品测试：寄送硅棒待测样品至实验室，提供检测配套服务并出具计量证书
- 增值配套：仪器定期计量校准、探针 / 平台尺寸个性化定制、耗材补给、设备技术升级
8. 包装选配配件（表格）
| 序号 | 配件名称 | 单位 | 配置类型 | 备注 |
|1|PC 数据分析软件 | 套 | 选购 | 中英文双语，数据存储报表导出 |
|2 | 标准校准电阻 | 个 | 选购 | 1-5 个按需搭配，仪器校验使用 |
|3 | 电脑 + 打印设备 | 套 | 选购 | 配套软件数据输出 |
|4 | 定制钨探针组件 | 组 | 选购 | 适配 1300℃高温工况可定制 |
|5 | 大尺寸硅棒平台 | 套 | 选购 | 直径大于 22mm 硅棒适配 |
|6 | 整机延保服务 | 年 | 选购 | 可选 1/2/3 年周期 |
|7 | 仪器计量检测服务 | 份 | 选购 | 出具正规计量证书 |
9. 售后服务（简洁）
- 整机出厂配置基础质保周期，质保周期内非人为损坏零部件、基础检修无额外耗材支出；
- 技术团队全程线上调试指导，故障无法远程处置可安排到场检修；
- 仪器过保后可选购延保服务，延长整机保修时长；
- 长期供给钨探针、测试线、标准电阻等配套耗材；
- 可预约仪器定期计量校准，保障测量数值合规稳定。
10. FAQ 常见问题
Q1：FT-300TZ 能否测量短硅片、方形薄片？
A1：设备针对长棒试样设计，试样长径比需≥3:1；薄片、方形短试样可选用 FT-331 四探针系列设备。
Q2：探针间距、硅棒直径可以后期调整吗？
A2：可增购定制探针组件与加宽测试平台，适配不同规格硅芯、硅锭检测需求。
Q3：无电脑能否完成检测？
A3：无电脑可依靠液晶屏读取实时电阻率、电导率数值，数据存储、报表打印功能需搭配 PC 软件。
Q4：测试数值波动偏大如何处理？
A4：检查探针是否磨损、硅棒表面是否氧化，同时更换标准电阻完成整机校准。
Q5：设备是否满足光伏行业进厂质检标准？
A5：设备完全匹配 GB/T 1551、SEMI MF397 两探针检测规范，可用于产线日常抽检与型式试验。
11. 关联产品（简洁）
- FT-351 高温四探针测试仪：半导体晶片高温方阻、电阻率高温检测设备
- FT-300B 电线电缆电阻率测试仪：铜铝线材导体直流电阻检测仪器
- FT-331 全自动四探针测试仪：硅片、薄膜方块电阻常温测量设备
- FT-8600 粉末电阻率测试仪：半导体粉体常温导电性能分析仪
- LX-9831 电压降测试仪：线束端子温升压降综合检测设备
